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特殊气体输送设备Specialty Gas Distribution Equipment特气输送系统（G/C）适用于半导体、LED、LCD以及太阳能行业有毒/易燃/腐蚀性/惰性气体供应按照其输送介质可分为GC，GR，BSGS等所用特气管路均采用进口SUS 316L EP管渗漏率：1*10 – 10Atm – cc/sec(HE)PLC控制触摸屏，操作简便全自动气瓶切换易于操作维修内部互锁设置，操作更安全适用于中央监控系统（GMS） [详细介绍]