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提示信息| 适用领域： | 非晶硅薄膜太阳能电池、新世代液晶显示器等PECVD制程、半导体等行业中蚀刻制程与化学气相沉积制程中产生的废气 | 品牌： | KIKI |
| 型号： | NITSU | 种类： | 废气处理设备（） |
Kiki
Kiki NITSU燃烧式尾气处理设备
新型薄膜太阳能光伏、液晶TFT-LCD薄膜CVD制程专用燃烧式尾气处理设备。
Kiki NITSU新型燃烧式薄膜CVD制程尾气处理设备, 为日本『木麒制作所』Kiki SEISAKUSYO累积多年经验及制作研发上的深厚基础上, 参酌最新世界安全规范, 评鉴过往美日业界同类型机发展的得失后, 开发出近年来最适用于非晶硅薄膜太阳能电池、新世代液晶显示器等PECVD制程尾气处理的新型燃烧式处理设备。
Kiki NITSU燃烧式尾气处理设备的用途
可处理气体种类包括非晶硅薄膜太阳能电池、新世代液晶显示器等PECVD制程、半导体等行业中蚀刻制程与化学气相沉积制程中产生的废气，主要包括SiH4、SiH2Cl2、PH3、B2H6、TEOS、H2、CO、NF3、SF6、C2F6、WF6、NH3、N2O 等。
Kiki NITSU燃烧式尾气处理设备的主要特点：
1. 全机整体新思维安全设计, 高安全标准自我诊断异常及意外预防应对 规格, 同时通过了德国TUV最新SEMI S2, SEMI S8, EN 60204-1: 2006认证。
2．独特涡流火焰燃烧器, 拥有处理量特大﹑处理效率优异﹑及长时间运转之最高稳定信赖性。
3．CH4﹑C3H8双燃料机型, 具燃料节约控制设计, 符合经济节能与环保要求。
4．良好机械架构设计与人机界面程序, 操作容易上手、停机保养频率低、保养简单快速、零料件经久耐用等众多优点.
5．燃烧反应室可定时自动清洁, 长时间运转效率稳定, 特别适合应用于非晶硅薄膜太阳能电池、大尺寸液晶生产等之高SiH4、 PH3及NF3、SF6气体使用, 并大量产出SiO2、P2O5易衍生粉尘堆积及大量高浓度HF酸腐蚀气体的PECVD制程尾气处理。
Kiki NITSU 主要气体处理反应
REACTION | POWDER (g/l) |
2H2+ O2→ 2H2O | |
B2H6+ 3O2→ B2O3+ 3H2O | 3.11 |
4NH3+ 3O2→ 2N2+ 6H2O | |
2NF3+ 3H2→ 6HF + N2 | |
4NF3+ 3CH4+ 3O2→ 2N2+ 3CO2+ 12HF | |
2PH3+ 4O2→ P2O5+ 3 H2O | 3.17 |
SiH4+ 2O2→ SiO2+ 2 H2O | 2.68 |
2Si2H6+ 7O2→ 4SiO2+ 6H2O | 5.36 |
Si3H8+ 5O2→ 3SiO2+ 4 H2O | 8.06 |
SiH2Cl2+ O2→ SiO2+ 2HCl | 2.68 |
2WF6+ 6H2+ 3O2→ 2WO3+ 12HF | 10.35 |
2WF6+ 3CH4+ 5O2→ 2WO3+ 3CO2+ 12HF | 10.35 |
2SF6 + 6H2 + 3O2 → 2SO3 + 12HF | |
2SF6+ 3CH4+5O2→ 2SO2+ 3CO2+ 12HF | |
F2+ H2→ 2HF | |
2F2+ CH4+ O2→ 4HF + CO2 | |
Si(C2H5O)4+12O2→ SiO2+ 8CO2+ 10 H2O | 2.68 |
C2F6+ 3H2+ 2O2→ 6HF +2 CO2 | |
2C2F6 + 3CH4+ 7O2→ 7 CO2+ 12HF | |
N2O + H2→ N2+ H2O | |
4N2O + CH4→ 4N2+ 2H2O + CO2 |
Kiki NITSU优质的客户服务
日本木麒制作所提供薄膜太阳能电池及新世代液晶PECVD的尾气处理系统, 主要包括有:
(1) 荣获德国TUV 认证的新型燃烧式CVD尾气处理设备NITSU
(2) 集中处理型弹匣式过滤材粉尘集尘机
Cartridge Filter type Particle Collector
(3) 集中处理型酸排气水洗处理设备
Central Wet Scrubber
上海怀利环保设备有限公司荣获 Kiki 日本木麒原厂技术认证授权, 专注服务大中华区所有薄膜太阳能电池及大尺寸液晶TFT-LCD制造厂客户, 提供系统设备自规划、选机、承包施工、安装试车及全年保养维修、充裕零料件完整库存的全面性整体专业服务。
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