型号:BY-ZK | 极限真空:10-6(Mpa) |
分子泵及其前级泵的的选型比较复杂需要考虑很多因素如:被抽气体,工作真空度,腔室材料,工艺气体量等。同时根据生产和科研的要求还要选用不同的配件和控制系统。我公司根据多年的经验为客户提供了多种组合的分子泵系统,为客户提供了成型的解决方案
分子泵机组一般情况由各性能涡轮分子泵,前级抽气泵,通断放气阀,前级管路,断水保护器,分子泵电源,控制电源等组装于机架上而成的清洁超高真空获得设备。安装方便,操作简单,易于联接,性能可靠,可广泛用于表面分析,加速器技术,半导体设备,等离子体技术,电真空器件的制造及真空技术各领域。