品牌: | 北氧 |
型号: | BY-GHE |
类别: | 酸雾净化设备 |
超纯氦气净化器是采用复合型贵金属合金净化材料,后与各种活性气体形成稳定的化合物或固溶体,使气体达到目的净化的目的。
处理气体介质:氢气、氮气、氩气氦气及其他惰性气体
特点:本产品可现场再生,材料选用不锈钢抛光材料,处理精度高,流量大,寿命10年以上,经过净化后的气体可达到ppb级净化。
适用范围:微电子、半导体工业、半导体工艺设备、气体分析、研发。
产品气流量:1-3000Nm3/h
产品纯度:99.9995-99.9999999%