成都国光电气司飞青股份有限公司

FFD系列复合分子泵

新产品介绍：

1. 多角度安装。
2. 高级限真空。
3. 大抽速：复合分子泵是由涡轮级和牵引级复合而成，从而提高了泵的抽速。
4. 高压缩比：转子独特的螺旋槽式牵引级使泵具有高的压缩比和耐粉尘能力。
5. 低噪音：采用高精度球轴承，动平衡好，对轴承的磨损小，轴承寿命长，整机振动小，噪音低。
6. 清洁无油：分子泵是靠动叶片和定叶片相对运动抽除、拖动、传输气体分子排出，因此可获得清洁无油的高真空和超高真空。
7. 节能：由于整体转子比分体转子轻，因此电机负载小，消耗功率小，可以运行更高的转速。
8. FF型复合分子泵广泛应用于光谱仪器、电子显微镜、检漏仪、表面物理和分析仪器、质谱仪、真空镀膜行业、显像管生产、半导体制造业、等离子刻蚀等领域。

主要技术参数：

型号：                FFD-800      FFD-1300       FFD-1800

进气口通径：      DN160mm     DN200mm     DN250mm

排气口通径：       KF40mm       KF40mm       KF40mm

抽气速率：          800L/s         1300L/s       1800L/s

极限压力：         5x10^-7Pa (金属密封)；5x10^-6Pa (橡胶密封)

压缩比：                   N₂: 10⁸；H₂: 4x10³

电机转速：       36000r/min    24000r/min   24000r/min

启动时间：          < 7min         < 7min         < 7min

冷却方式：              水冷           水冷           水冷

冷却水温：         < 24 C         < 24 C         < 24 C

安装位置：            任意             任意           任意