点击图片查看大图| 类型：激光干涉仪 | 型号：Φ60mm | 测量分辨率：0 |
| 最近工作距离：0（mm） | 用途：球面类光学元件（包括各类玻璃、塑料透镜、球面反射镜、光圈量规、球面轴承等）表面光圈、局部形变的测量，球面曲率半径的测量（配合光栅尺）。 | 品牌：ioec |
| 品种：激光干涉仪 | 加工定制：是 | 测量范围：300 |
球面干涉仪，标准口径为Φ60mm/Φ30mm，标配的球面标准镜头为F0.75，可选购的型号包括F1.0，F1.5，F2.0，F3.3，F5.6等，可定制其他F数的镜头。
主要用途： 球面类光学元件（包括各类玻璃、塑料透镜、球面反射镜、光圈量规、球面轴承等）表面光圈、局部形变的测量，球面曲率半径的测量（配合光栅尺）。
1、仪器规格参数表
产品型号 | IOEC-S-60U/ IOEC-S-30u |
有效光束直径 | Φ60mm/Φ30mm |
光源 | He-Ne激光（632.8nm） |
光路切换 | 对准（十字叉丝）与测试（干涉场）模式电控切换 |
标配镜头 | F0.75 |
选配镜头 | F1.0、F1.5、F2.0、F3.3、F5.6 |
仪器尺寸(长X宽X高) | 400X300X1000mm |
仪器重量 | 75KG |
电源 | AC220V 50Hz |
2、球面镜头规格表
F数 | 标准面曲率 半径（mm） | 测量范围（曲率半径）（mm） | 测量最大口径（mm） | ||
凸 | 凹 | 凸 | 凹 | ||
0.75 | 24.3 | 24.3 | 135 | 32 | 180 |
1.0 | 39.81 | 39.81 | 180 | 38.34 | 180 |
1.5 | 70 | 70 | 270 | 46.2 | 180 |
2.0 | 102.57 | 102.57 | 298 | 51 | 149 |
3.3 | 179 | 179 | 220 | 54.2 | 67 |
5.6 | 316.2 | 316.2 | 84 | 56.5 | 15 |
（注：标准镜头详细的性能参数见干涉仪附件部分）
3、球面镜头选配图
选配要点：
-
- 待测球面的R/D（曲率半径与口径的比值）应当大于球面镜头的F数，才能实现全口径测量；建议选取F数最接近（略大于）被测面R/D值的球面镜头。
- 凸面曲率半径与口径的测量范围受限于镜头标准面的曲率半径与有效通光口径；凹面的测量范围受限于测试腔的长度（也即是仪器导轨的有效移动距离）与宽度（也即是载物台的横向尺寸）。
4、仪器特点：
- 精度高
标准镜头采用优良的光学、机械设计，并经过高精度装配，性能优异，精度可靠；
- 调整方便
可通过切换开关选择对准与干涉场两种显示模式，方便调整；
- 条纹真实
可调节共轭成像位置，得到清晰、准确、真实的干涉条纹；
- 性能优良
仪器具备良好的隔振性能，适合光学加工现场使用；
- 适合多品种小批量检验
仪器采用正立式结构，通用载物台设计，适合对多品种的元件行表面光圈及局部光圈的检验。
5、仪器操作流程：
5.1、基本操作
- 仪器初始化
开机后稳定15分钟，使激光器模式稳定。
- 镜头安装
根据待测面曲率半径选择合适F数的镜头，通过螺纹方式将其旋转固定在调整架上，然后将仪器右侧的转换开关切换至“对准调整”显示模式，把镜头标准面反射光点调整至十字叉丝中央。
- 光路调试
将待测元件放置于载物台上，将转换开关切换至“干涉图”显示模式，调整载物台z轴高度，视场中会出现一个带条纹的光点，此时调节载物台上的xy轴平移旋钮，使光点位于视场中心，然后继续沿z轴方向调节载物台（若光点不断变大或不断向视场外侧移动，则z轴调节方向正确，反之需反方向调节），直到光点变为干涉图，充满整个视场，此时将紧固手轮锁紧。
调整载物台x、y方向平移，使条纹数量减少；并调节z轴微调旋钮，使条纹变直。重复进行上述步骤，直到调出满意的干涉条纹为止（建议3～5条）
- 条纹判读
依据GB 2831-81（光学零件的面形偏差检验方法），并结合我们为客户特别制作的“干涉图与波像差对比图”（见附录），进行条纹判读。需要提醒的是，球面面形检验一般只能测试局部光圈，离焦量主要来自调试误差，不应计入面形畸变。
5.2、特殊操作
- 光圈检验
测量表面光圈之前首先要做标定，把光圈量规（即球面样板）放置于载物台上，采用上述步骤进行调整，确保视场内干涉条纹没有任何弯曲；然后在相同条件下放置待测元件，此时干涉条纹的弯曲量即表征了待测表面的光圈值。
- 曲率半径测量
球面曲率半径必须在安装光栅尺的干涉仪上才能测量。分别调整出猫眼位置（即标准镜头的焦点位置）和齐明位置（当待测球面球心与标准镜头焦点重合时的位置），两个位置之间的距离即为球面的曲率半径。
- 干涉图清晰度调节
通过调整标准镜旁边的“共轭调节旋钮”，使干涉图清晰的显示在监视器上。仪器在出厂之前已经校正到最佳成像位置，一般情况下不需要进行重新调整。
- 干涉图对比度调节
