544 系列 — 高精度非接触测量系统
特点: LSM-503S
? 多用途型,测量范围从0.3mm - 30mm。
? 高测量精度,在全测量范围内直线度达±1.0μm,在窄测量范围内达 ±(0.6+0.1ΔD)μm高测量精度。
? 高重复精度达±0.1μm。
LSM-503S 技术参数
测量范围: 0.3 - 30mm
分辨率: 0.00002 - 0.1mm 可选
(.000001" - .005") ( ): 英制/公制型
20 oC 时的直线度*: 全范围: ±1.0μm
窄范围: ±(0.6+0.1ΔD)μm
重复精度 (±2σ): ±0.1μm
工件定位误差: ±1.5μm
测量区域: 10x30mm
激光波长: 650nm, 可见光
扫描速度: 3200scans/s
激光扫描速度: 226m/s
激光可接收标准: IEC 或FDA
* 在测量区域中心
ΔD= 校正规和工件的直径差