549 系列 — 超高精度型
激光全息光栅尺是一个采用衍射射束干涉
的高端DRO 系统,可确保在宽测量范围内
具备很高的测量精度和重复精度。
特点
? 全息摄影在光栅尺上记录超精细光栅衍射。
? 0.001μm 的超高分辨率确保接近激光干涉仪水平的高精度测量。
? 优秀的测量稳定性- 小型探测系统具有很强的防不适环境能力,比如温度和空气压力的变化。
? 光源为小型半导体激光,易于安装和调整。