516 系列
特点
阶差规用于光学仪器的Z 轴(垂直方向)
校准。
? 相邻阶差用干涉仪测量为0.01μm,测量误差为±0.20μm 。
? 可选用钢制或陶瓷型。
性能参数
公制型
货号相邻量块阶差值备注
No. 1 - No. 2 No. 2 - No. 3 No. 3 - No. 4 No. 4 - No. 5
516-198 10μm 5μm 2μm 1μm 钢制型
516-199 300μm 100μm 50μm 20μm 钢制型
516-498 10μm 5μm 2μm 1μm 陶瓷型
516-499 300μm 100μm 50μm 20μm 陶瓷型
可提供尺寸
公称尺寸: 0.1mm - 1000mm (钢制)
0.5mm - 500mm (陶瓷)
公称间距: 0.0005mm (小于100mm 量块)
0.001mm (大于100mm 量块)
最小断面尺寸:
大约 5 x 5mm
最大断面尺寸:
大约140 x 140mm (钢制型)
大约ø160mm (钢制圆柱型)
大约100 x 50mm (陶瓷型)
大约ø60mm (陶瓷圆柱型)
精度: 量块水平
可选用由特殊材料制成的低热膨胀玻璃型或低热膨胀
陶瓷型。