单晶硅片厚度检测仪器采用机械式测量方法,适用于塑料薄膜量程范围内各种材料的精确厚度测量。符合GB 6672(塑料薄膜和薄片厚度的测定--机械测量法)、GB/T 451.3、GB/T 6547、ASTM D645、ASMT D374、ASTM D1777、TAPPI T411、ISO 4593、JIS Z1702、BS 3983、BS 4817等测试标准。
单晶硅片厚度检测仪器技术指标
测量范围:0~2mm(常规)(0~6mm可选)
分 辨 率:0.1μm
测量速度:10次/min(可调)
测量压力:17.5±1kPa(薄膜);〔50±1kPa(纸张)〕
接触面积:50mm2(薄膜);〔200mm2(纸张)〕
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