重量:2.4(kg) | 型号:QMG | 尺寸:6/100(mm) |
品牌:Pfeiffer | 工作温度:150 c | 加工定制:是 |
测量范围:1-300 | 测量对象:检漏、残气分析 |
四极质谱仪 PrismaPlusTM新的高性能质谱仪
1.设计紧凑
PrismaPlusTM是新型定量定性气体分析和检漏的质谱仪。该四极质谱仪积累了丰富的应用经验,高灵敏度,高稳定性和智能化操作的完美结合是 PrismaPlusTM 四极质谱仪新的优点。在适用中客户将感受到它坚固,紧凑的设计和简单的系统集成,并从中受益。
2.应用范围广阔
通过可选择质量数范围,检测器、离子源和界面接口等,该四极质谱仪可以应用于多个领域,例如:工业和分析领域、研发、检漏、半导体生产以及镀膜工艺等。PrismaPlusTM 四极质谱仪是从质量保证,残气分析直至综合的定量分析工作等应用领域的最佳方案。
3.检测速度快,灵敏度高
PrismaPlusTM四极质谱仪可以在三个不同的质量数范围(1-100,1-200,1-300 amu)内,下至检测极限1*10-14 mbar 情况下给出精确的检测结果。在真空系统中,配合有效的法拉, 第和电子倍增检测仪,即使很低程度的污染也可以被快速地识别出来。除显示可选择的分压外,直接增加一个压力量规,PrismaPlusTM 四极质谱仪就可以作为一个精确的全压监控器使用。
4.智能化的软件
Quadera 软件不仅操作简单,它还提供了捕获和观察所有测试数据以及参数记录的易读平台。结合多种可供选择的界面接口,例如以太网,数字式和模拟式输入输出,可以方便地集成到各种系统中去。轻点鼠标就可以激活预设的功能。
PrismaPlusTM四极质谱仪产品优势:
1. 模块化设计提供了产品最好的适应性
2. 结构紧凑,性能出众
3. 多种界面接口,系统集成简单
4. 可通过以太网网络化
5. 测试过程快速稳定,解析度高
6. 分析器以及电子的可替换性
7. 双灯丝设计保证最大的可靠性
8. 最低的可检测分压达1 x 10E-14 mbar
9. Quadera®软件操作直观
PrismaPlusTM四极质谱仪应用领域:
PrismaPlusTM四极质谱仪非常适合于检漏,残气分析以及综合定量分析:
1. 冶金 2. 真空炉 3. 加速器 4. 溅射工艺分析 5. 半导体生产 6. 玻璃镀膜 7. 研发 8. 真空工艺
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PrismaPlusTM 四极质谱仪产品规格:
PrismaPlusTM型号 | QMG 220 F1 | QMG 220 F2 | QMG 220 F3 | |
质量数范围 | amu | 1-100 | 1-200 | 1-300 |
四极杆直径/长度 | mm | 6/100 | 6/100 | 6/100 |
检测极限,最小 | mbar | 1.10-12 | 2.10-12 | 4.10-12 |
对Ar的灵敏度 | A/mbar | 1.10-3 | 6.10-4 | 3.10-4 |
工作压力,最大 | mbar | 1.10-4 | 1.10-4 | 1.10-4 |
对临近质量数的影响 | ppm | <10 | <20 | <50 |
工作温度/分析器 | 。C | 150 | 150 | 150 |
连接法兰 |
| DN 40 CF-F | DN 40 CF-F | DN 40 CF-F |
重量 | kg | 2.4 | 2.4 | 2.4 |