点击图片查看大图| 型号：HiPaceTM MC | 品牌：pfeiffer | 驱动方式：电磁 |
| 材质：不锈钢 |
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产品介绍
HiPace MC是配置了集成电子驱动装置的磁悬浮涡轮分子泵系列，该驱动装置可在最大性能水平下运行。该系列泵不仅有非常高的抽速，高压缩比以及高气流量，其中的磁悬浮轴承是也最高科技的体现，它保证了真空泵最低的震动和免维护运行。
T该系列分子泵拥有IP 54保护级别，它可以防止环境中的灰尘和水雾的影响，所以此类泵坚固难用，非常适合应用于要求比较苛刻的工艺（颗粒状杂物，高压强气体，腐蚀性气体）。
产品特点
1 磁悬浮轴承，是真正的无油分子泵
2 超低振动，无噪音
3 高抽速，最高达到3000L/S
4 是全球最先进，最高端的分子泵
应用领域
半导体产业
超紫外线光刻技术
化学气相沉积（CVD）
物理气相沉积（PVD）
离子束刻蚀
离子注入
太阳能电池涂层工业
冶金及电子束焊接
产品型号
1 HiPaceTM 2400 MC
2 HiPaceTM 3400 MC
