型号:AX,VHS,HS | 流量:65-28000 | 品牌:美国varian |
驱动方式:电动 | 材质:铸钢 |
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油扩散泵是获得高真空的主要设备,广泛用于真空冶炼、真空镀膜、原子能、空间模拟试验和对油污染不敏感的一些真空系统中。
特点:
※大抽速、大抽气量
※抗辐射、抗氧化、快速循环.抗爆炸.
※高前级耐压
※高极限真空度
※返油量极低
※超常的使用寿命
型号 | AX-65 | HS-2 | VHS-4 | VHS-6 | VHS-250 | VHS-10 | VHS-400 | HS-16 | HS-32 | NHS-35 |
抽速空气,L/s | 65 | 160 | 750 | 1550 | 2125 | 3650 | 4500 | 6000 | 17300 | 28000 |
最大前级耐压Torr/mbar | | | | | | | |
| | |
推荐前级泵抽速m3/hr | 0.15/0.25 | 5.0/8.5 | 10/17 | 17/28.9 | 17/28.9 | 30/51 | 30/51 | 80/136 | 300/510 | 300/510 |
返油率mg/cm2/min | 2×10-4 | 1×10-3 | 5×10-4 | 5×10-4 | 5×10-4 | 5×10-4 | 1×10-3 | 1×10-3 | 7×10-4 | 5×10-4 |
启动时间(min) | 7 | 15 | 10 | 10 | 15 | 15 | 30 | 45 | 60 | -- |
电源 | 1ph,50/60Hz, | 1ph,50/60Hz, | 1ph,50/60Hz, | 1ph,50/60Hz, | 3ph,50/60Hz, | 3ph,50/60Hz, | 3ph,50/60Hz, | 3ph,50/60Hz, | 3ph,50/60Hz, | 50/60Hz, |
功率 | 200/250 | 450 | 1450 | 2200 | 2200 | 4400 | 4400 | 8100/9600 | 2400 | 2400 |
冷却水l/hr,15-26°C | N/A | 0.1/20 | 0.15/30 | 0.25/50 | 0.25/50 | 0.4/80 | 0.4/80 | 1.5/300 | 4.0/800 | 4.0/800 |