特殊气体输送设备
Specialty Gas Distribution Equipment
特气输送系统(G/C)
适用于半导体、LED、LCD以及太阳能行业有毒/易燃/腐蚀性/惰性气体供应
按照其输送介质可分为GC,GR,BSGS等
所用特气管路均采用进口SUS 316L EP管
渗漏率:1*10 – 10Atm – cc/sec(HE)
PLC控制触摸屏,操作简便
全自动气瓶切换
易于操作维修
内部互锁设置,操作更安全
适用于中央监控系统(GMS)
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供应Gas Rack气瓶架
详细信息 特殊气体输送设备 Specialty Gas Distribution Equipment 特气输送系统(G/C) 适用于半导体、LED、LCD以及太阳能行业有毒/易燃/腐蚀性/惰性气体供应 按照其输送介质可分为GC,GR,BSGS等 所用特气管路均采用进口SUS 316L EP管 渗漏率:1*10 – 10Atm – cc/sec(HE) PLC控制触摸屏,操作简便 全自动气瓶切换 易于操作维修 内部互锁设置,操作更安全 适用于中央监控系统(GMS) |