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南京南自生物岛下科技有限公司

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晶体生长及半导体加工感应加热电源
晶体生长及半导体加工感应加热电源
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产 品: 晶体生长及半导体加工感应加热电源 
单 价: 面议 
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供货总量: 100
发货期限: 自买家付款之日起 天内发货
更新日期: 2013-05-25  有效期至:长期有效
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详细信息
型号:ZCS3000 最大输入功率:200(kw) 品牌:南自生物
最大输出功率:200(kw) 加工定制:是 输出振荡频率:1000-250000(HZ)

 

        专为晶体生长和半导体加工设计的输出功率高稳定型产品,在 DSP 的控制下,其输出功率稳定性可达 0.1% ,分辨率达 0.02% ,并且在恒功率运行时,输出功率不受电网波动以及其它加热条件变化的影响,可实现对晶体生长高稳定度功率输出的要求。

 
 
采用RS232C或RS485进行通讯控制,对于额定功率40kW机器,可实现10W的功率输出步长调节。
 
也可以用就地电位器进行控制,“给定锁存技术”也可以保证输出功率稳定性达到0.1%(对电位器的给定值进行锁存)。
经阻抗匹配,可适合各种坩埚,例如石墨坩埚、铂金坩埚、铱坩埚等。
 
全空冷结构,系统效率高,功率因数高。
 
额定功率连续运行设计,系统故障率低,装置无水系统故障。
 
多种控制方式以及丰富的接口,容易实现自动控制。
 
在DSP的精确控制下,频率自动跟踪,保证设备工作在最佳谐振状态;且在电网电压波动情况下,输出功率能保持不变。
 
保护限制功能齐全可靠,在感应器短路、工件短路、过载运行、电网波动等异常情况下设备不损坏。
 
输出变压器隔离,感应器电压低、且可以单端接地。
 
空冷变压器设计寿命 10 年以上,无铜管堵塞问题。
无极性滤波电容设计寿命 10 年以上(电解电容低于 5 年)。
 
中文显示界面,参数在线设置功能。
 
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