FJ-620/FJ-500F型系列复合分子泵机组是由F160/620系列各性能复合分子泵或FF-160/500F系列复合分子泵，前级抽气泵，隔断放气阀，前级管路，断水保护器，分子泵电源，控制电源等组装于机架上而成的清洁超高真空获得设备。安装方便，操作简单，易于联接，性能可靠，可广泛用于表面分析，加速器技术，半导体设备，等离子体技术，电真空器件的制造及真空技术各领域。 分子泵机组--FJ-620/FJ-500F分子泵机组技术性能： 产品型号 | FJ-620 | FJ-620T | FJ-620N | FJ-620C | FJ-500F | 进气口法兰 | DN160LF | DN160CF | DN160LF | DN160CF | DN160LF | DN160CF | DN160LF | DN160CF | DN160LF | DN160CF | 抽气速率L/S（对空气） | 600 | 600 | 600 | 600 | 500 | 压缩比 N2 H2 | 109 6×103 | 109 6×103 | 109 6×103 | 109 6×103 | 109 6×103 | 极限压强（Pa） | 6×10-6 | 6×10-7 | 6×10-6 | 6×10-7 | 6×10-6 | 6×10-7 | 6×10-7 | 6×10-8 | 6×10-6 | 6×10-7 | 输入电压频率（V/Hz） | 380±20/50±1 | 冷却水压力（kg/cm-2） | 0.5～1 | 0.5～1 | 0.5～1 | 0.5～1 | 0.5～1 | 前级泵型号 | RVP-6 | 环境温度 | 4～40 |
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