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精密机床机械加工产品的质量从加工精度上可以分为普通加工，精密加工，高精密加工和超精密加工四种。普通加工的精度在10~100um，精密加工精度在3~10um，高精密加工精度在0.1~3um,而精度要求高于0.1um的属于超精密加工的精度。
超精密加工机床与一般机床相比较的话，最大的差别就是加工精度差别很大，由加工精度引起的差异，导致在普通机床上，设计者们根本不重视不考虑热变形、力变形、振动、定位及材料等因素，而在超精密机床上却恰恰相反，这些无一不影响着超精密机床加工出来的产品的精度，除了上面提到的因素，主轴回转精度、主轴受力及热的变形、主轴驱动、工件夹持、导轨运动直线性及定位等都是在设计超精密机床上不能避开的要点。
影响机床密度的因素有很多，相对比机床的结构材料对于超精密机床来说，它选用的材料对于机床的精度影响是很大的。在以前，铸铁和钢一直作为机床的主要结构材 料，在未来也依旧会作为普通机床的材料存在，发挥极大的作用。但是，对于超精密机床来说，它选用的材料要满足性能稳定、热变形小、振动衰减性好等众多要求，而这些严苛的眼球对于铸铁和钢来说是难以满足的，特别是对于热变形的要求。针对这个问题，国外的发达国家，早就开始针对材料问题来进行研发创新了，其中，天然花岗岩材料就属于新开发的材料之一，天然花岗岩材料优点重多，它的膨胀系数仅有普通材料的的2/3，目前在很多超精密机床上得到了应用。而在，公认的制造业强国日本，最新的开发材料是精密陶瓷材料，它的热膨胀系数仅为铸铁的1/20一1/240！
