高纯气体露点变送器Pura

 

品牌：密析尔

产地：英国

 

高纯气体露点变送器Pura产品简介

密析尔仪表目前向市场推出了简单的、经济的、相当有效的方案，用来在线测量露点值，下限低至惊人的-120℃ (相当于不到 1 ppbV)。 

Pura露点变送器是基于密析尔仪表多年在阻抗露点传感器生产和校验的专业经验，结合标准工业化的材料和制造流程，打造出的首个适用于半导体制造行业和超纯气体应用场合，测量微量湿度水平的一体式变送器。

 

高纯气体露点变送器Pura产品特点

测量下限-120℃露点 (1 ppbV)

测量稳定，重复性好

高度集成的采样装置 

模拟和数字输出

安装简便，设计紧凑小巧

VCR过程接口 

显示/报警单元可选 

 

高纯气体露点变送器Pura技术参数 

传感器类型：密析尔陶瓷湿度传感器 

量    程：-120 ~ -40°C 露点 (校验到 -100 ~ -40°C) 

精    度：±1°C   -40 ~ -60°C;

±2°C   -61 ~ -100°C;

±4°C   -101 ~ -120°C (估算值) 

分 辨 率：0.1°C        -40 ~ -79.9°C;

1°C           -80 ~ -100°C;

1 ~ 3°C    -100 ~ -120°C 

压    力：最低 10-9 torr; 最大 24 MPa  

气体流量：1 ~ 5 Nl/min 

电    源：通常 24 V DC, 最低10 V ~ 最高28 V , 最大电流 25 mA 

输    出：4-20 mA 输出, 对应范围可由专用软件调整, 调整量程从 1 ~ 80°C (标配提供)

最大负载= 100Ω+ 50Ωx (V电源-8) 

输出出错状态：标准输出出错信息如下: 23mA=传感器故障；20 mA=超上限；4 mA=超下限 

传感器套筒：不锈钢， 0.1-0.2 Ra µm 电镀内抛光 

气路连接端口：Premium 或 OEM 型：¼" m VCR 接口

Pura Sensor 型：½" m VCR 接口  

安装配置：Premium或OEM 型：120.00mm 长，气路端口的端面密封。无需预留管路空隙

底座上有2个M4 x 0.7， 7mm 深的安装孔，斜对面横竖间距均为 20 x 20mm

Pura Sensor 型：适用于用户提供的 ½" VCR 端口中  

尺    寸：Premium或OEM型：120 x 35 x 150mm

Pura Sensor 型：132 x 35mm 

重    量：Premium或OEM型：450g

Pura Sensor 型：180g 

包    装：Pura：双层包装, 惰性气体填充密封

Pura OEM 或 Pura Sensor 型：单层包装

所有选配件：独立包装运输

Sensor 型在传感芯片端自带保护套，用以运输及操作