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北京| 加工定制: | 是 |
| 特性: | 石英坩埚 |
| 功能: | 石英坩埚 |
| 微观结构: | 单晶 |
| 规格尺寸: | 8-24寸 |
用电弧法制的半导体半透明石英坩埚是拉制大直径单晶硅，发展大规模集成电路必不可少的基础材料。当今，世界半导体工业发达国家已用此坩埚取代了小的透明石英坩埚。他具有高纯度、耐温性强、尺寸大精度高、保温性好、节约能源、质量稳定等优点 |
纯度的化学分析
型号 |
Al |
Fe |
Ca |
Cu |
K |
Na |
Li |
B |
OH |
DHS |
20 |
1 |
1.5 |
0.1 |
3 |
3 |
3 |
0.3 |
30 |
DHS-A |
15 |
0.3 |
0.6 |
0.05 |
0.7 |
1.0 |
0.7 |
<0.1 |
30 |
DHS-B |
8 |
0.2 |
0.6 |
0.02 |
0.3 |
0.9 |
0.2 |
<0.05 |
30 |
规格尺寸：
坩埚尺寸 |
外径D |
高度H |
厚度 |
R* |
r* |
|||||
t1 |
t2 |
t3 |
||||||||
8" |
|
153±3 |
5.5±1.5 |
3 |
8.5 |
305 |
30 |
|||
10" |
254±2 |
178±3 |
6.0±1.5 |
3.5 |
9 |
305 |
70 |
|||
12" |
305±2 |
228±3 |
6.5±1.5 |
4 |
9.5 |
305 |
80 |
|||
14" |
355±2 |
254±3 |
7.5±1.5 |
5 |
10.5 |
400 |
90 |
|||
16" |
404±2 |
305±3 |
8.5±1.5 |
6 |
11.5 |
400 |
90 |
|||
18" |
457±2 |
355±3 |
8.5±1.5 |
6 |
11.5 |
500 |
120 |
|||
20" |
508±4 |
381±3 |
10±3 |
6 |
11.0 |
500 |
120 |
|||
22" |
558±4.5 |
381±3 |
10±3 |
7 |
11.0 |
558 |
89 |
|||
24" |
610±4.5 |
381±3 |
11±2 |
7±1 |
11.0 |
610 |
89 |
|||
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