用途: |
各种易燃、易爆、有毒、腐蚀性超纯气体。如HCL、HF、H2S、BCL、SiH2CL2、SiH4等。 |
特点: |
※ |
密封性安全可靠,使用寿命长。 |
※ |
设计标准符合GB、CGA-DISS、JIS、BS等国内外标准,可用于各种气瓶(如CGA330、JB3228-83等标准)。 |
※ |
可带有或不带爆破片加易融合金安全装置,由用户选定。 |
※ |
设有二道安全上密封机构,确保适用安全。 |
※ |
内部容积小,无污染。 |
※ |
可按用户要求100%进行氦质谱检漏及内外壁电化学抛光。 |
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主要技术参数
公称通径DN
(mm) |
公称压力PN
(MPa) |
适用温度
t(℃) |
漏率
mbarl∕s |
可达真空度
(Pa) |
3 |
16 |
-60 ~ 200 |
1×10-9 |
1.33×10-2 |
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