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河南 郑州市| 功率： | 15K（W） | 型号： | NBD-HR1100 |
| 额定温度： | 1100（℃） | 品牌： | 诺巴迪 |
| 最大电压： | 380（V） | 主要用途： | 快速退火 |
| 产品认证： | CE | 加工定制： | 是 |
NBD H系列高温快速热处理退火炉简称RTP，由我公司自主研发。该产品采用国际先进制造工艺，造型新颖结构合理，安全可靠。炉胆采用高纯氧化铝聚轻纤维材料制作，表面涂覆高反射率的超高温保护涂层，除能够保持其能量的最低损耗，还能增强高温稳定性，可有效减少热能损耗。试样反应区处在一个密闭的石英腔体内，在完美完成生产工艺的同时，也大大降低了间接污染试样的可能性。加热系统采用环形红外中波加热器，测温采用精准的S 型贵金属热电偶直接测量试样的表面温度，使试样区的温场更加均匀准确。控制界面采用大尺寸触摸屏，独占式智能操作，可预存多条控温曲线。控制数学模型采用先进的PID 自学习模糊双闭环控制模式，使控温精度在快速升温的恒温状态仍能保持在±2℃，目前已被各种试样实验多次验证，并已广泛用于半导体器件研发及生产等领域，该系统可满足离子注入后的快速退火，也可用于欧姆接触快速合金，还可用于硅化物合金退火，氧化物生长，以及铜铟镓硒光伏应用中的硒沉积等快速热处理工艺场合。由于其生产过程的批量化标准化，有效保证了您培烧的试样产品品质的一致性，一定是您试验，生产的好帮手。
重要技术参数：
1 | 项目 | 主要技术指标 | 数据 |
2 | 规格型号 | NBD-HR1100 |
|
3 | 温度控制 | 最高温度点（℃） | 1200℃ |
4 | 额定温度（℃） | 1100℃ | |
5 | 稳定状态温度范围（℃） | 100～1000℃ | |
6 | 温度测量精度（℃） | ±0.2℃ | |
7 | 温度控制重复性（℃） | ±1℃ | |
8 | 温度控制精确度（℃） | ±1℃ | |
9 | 温场均匀性（℃） | ±2℃ | |
10 | 温度状态工艺时间（S） | 2～100（100～1000℃） | |
11 | 最快升温速率（℃/S） | 500℃/S | |
12 | 降温速率（℃/S） | 1～200（通氮气，速率更快） | |
13 | 温度控制模式 | 智能模糊全闭环控制 | |
14 | 软件功能 | 操控系统 | NBD-101智能系统 |
15 | 用户界面 | 中英文互换 | |
16 | 工艺菜单编辑 | 傻瓜式操作并有图像界面 | |
17 | 扩充端口 | 可扩充真空测控和FFC供气 | |
18 | 看门狗 | 系统进入死循环时关闭主控制器 | |
19 | 热电偶校准状态检测 | 软件校准，方便准确，软件分析传感器状态是否正常 | |
20 | 超高温状态检测 | 软件检测出温度信息出现高温异常时，切断主回路 | |
21 |
| 触摸屏尺寸 | 7"LCD |
22 | 物理指标 | 最大功率（KW） | 15 |
23 | 额定电压 | AC380～400V，50Hz（60Hz定制） | |
24 | 传感器类型 | S型单铂铑 | |
25 | 反应腔室内径尺寸 | Φ100X200 | |
26 | 式样有效空间 | 3.5" | |
27 | 真空度 | 4.3X10Pa(外配分子泵） | |
28 | 抽气端口尺寸 | KF16（或Φ8mm宝塔嘴） | |
29 | 供气口尺寸 | Φ6.35mm双卡套 | |
30 | 冷却方式 | 自然冷却或强迫风冷N2或压缩空气：2psi(0.14kg/cm2)–7psi(0.5kg/cm2) | |
31 | 外形净尺寸 | ||
32 | 重量 | 约40Kg |
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