第一层：过滤/纸滤袋（丢弃式），能有效收集过滤可目视粉尘

第二层：过滤/加大的布质过滤器（可洗式），可以保护并延长高效过滤器的寿命。

第三层：过滤/马达保护套深层过滤，可以保护马达并延长其使用寿命

第四层：过滤/HEPA或ULPA过滤器

HEPA可有效过滤0.3um（相当于人类头发丝直径的1/300）的尘埃微粒达99.99％，适合用于Class100－30万级环境，每个过滤器都经过DOP及激光尘埃粒子读数器的双重严格检测。ULPA可以有效过滤99.999％的0.12um（相当于人类头发丝直径的1/960）大小的粉尘，适用于Class1-1000级无尘净化环境，美国航天总局指定专用吸尘器。