臭氧与水反应的过程中，未溶解于水中的废气含有少量的臭氧，这些气体在排出大气之前须经过加热或催化臭氧破坏处理系统进行处理，方可达到国家对此类气体排放的有关要求。

本臭氧尾气处理装置采用热分解残余臭氧和催化剂还原氧气的双重工作模式。加热处理主要是提高排放废气的温度至一定水平，使臭氧分子的半衰期缩短至毫秒；催化处理过程是在触媒表面加快臭氧分子的分解速度，将臭氧转化为氧气；二者结合，能更有效、更迅速在最短时间内，是臭氧尾气达到排放要求。

热分解采用不锈钢干烧加热器，抗氧化强、加热速度快，温度可调节，温控器的安全开关可在温度过高时切断电源。

催化剂采用以MnO2为载体的化合物作为催化剂参与反应但并不被消耗掉，它使反应

速度加快，催化剂能提高效率是因为它可以反应所需要的激活能力，这种激活能力就是把臭氧原子带到反应区重组成氧原子所需要的能量，被催化的气体在固体表面实现重组，催化反应的效率跟温度、湿度等有关，因为水气附在催化剂上，容易使催化剂“蛋糕化”，造成永久性流量阻塞，如果出现这种情况，就需再生催化剂。当臭氧尾气进入反应室后，臭氧分子在通过加热催化器时得以分解，随后，处理达标的尾气被离心风机从催化床排出，提高了工作场所卫生防护的安全性。