应用范围：太阳能硅片、半导体，电子行业。
■此超声波清洗机2000片（125*125）/小时超大产能。
■此超声波清洗机各清洗槽功能可根据用户要求配置。
■此超声波清洗机槽体材料可选用、PTEE、PVDF、PP和不锈钢等。
■此超声波清洗机PLC控制，触摸屏操作面板，稳定可靠，操作方便。
■此超声波清洗机精确温控。
■此超声波清洗机伺服驱动系统以及片盒传送系统。
■此超声波清洗机关键外购件选用进口材料。
■此超声波清洗机多种工作模式：全自动，半自动，手动等。
■实时状态显示以及故障报警。。。。

超声波清洗机的原理：

超声波清洗机是通过超声波发生器将高于20KHz频率的有震荡信号进行电功率放大后经超声波换能器（震头）的逆压电效应转换成高频机械振动能 量通过清洗介质中的声辐射，使清洗液分子振动并产生无数微小气泡。气泡沿超声传播方向在负压区形成、生长，并在正压区迅速闭合而产生上千 个大气压的瞬间高压而爆破，形成无数微观高压冲击波作用于被清洗工件 表面。此即超声波清洗中的“空化效应”。超声波清洗机就是基于“空化效应”的基本原理工作的，也因此，超声清洗对具有内外结构复杂、微观 不平表面、狭缝、小孔、拐角、死角、元件密集等特点的工件均具有卓越 的洗净能力，是其他清洗方法无可比拟的。随着超声频率的提高，气泡数量增加而爆破冲击力减弱，设备因此，高频超声特别适用於小颗粒污垢的清洗而不破环其工件表面。

[2]、空化泡的扩大以及爆裂（内爆）  

气泡是在液体中施加高频（超声频率）、高强度的声波而产生的。因此，任何超声清洗系统都必须具备三个基本元件：盛放清洗液的槽、将电能转化为机械能的换能器以及产生高频电信号的超声波发生器。

[3]、换能器和发生器

超声清洗系统最重要的部分是换能器。现存两种换能器，一种是磁力换能 器，由镍或镍合金制成；一种压电换能器，由锆钛酸铅或其他陶瓷制成。 将压电材料放入电压变化的电场中时，它会发生变形，这就是所谓的’压

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电效应’。相对来说，磁力换能器是用会在变化的磁场中发生变形的材料制成的。

无论使用何种换能器，通常最基本的因素为其产生的空化效应的强度。超 声波和其它声波一样，是一系列的压力点，即一种压缩和膨胀交替的波。 如果声能足够强，液体在波的膨胀阶段被推开，由此产生气泡；而在波的压缩阶段，这些气泡就在液体中瞬间爆裂或内爆，产生一种非常有效的冲击力，特别适用於清洗。这个过程被称做空化作用。

[4]、声波的压缩和膨胀

从理论上分析，爆裂的空化泡会产生超过10,000 psi的压力和20,000_F (11,000 _C) 的高温，并在其爆裂的瞬间冲击波会迅速向外辐射。单个空化泡所释放的能量很小，但每秒钟内有几百万的空化泡同时爆裂，累计起 来的效果将是非常强烈的，产生的强大的冲击力将工件表面的污物剥落， 这就是所有超声清洗的特点。如果超声能量足够大，空化现象会在清洗液各处产生，所以超声波能够有效清洗微小的裂缝和孔。空化作用也促进了化学反应并加速了表面膜的溶解。 然而只有在某区域的液体压力低于该气泡内气体压力时才会在该区域产生空化现象，故由换能器产生的超声波振 幅足够大时才能满足这一条件。产生空化所需的最小功率被称做空化临界 点。不同的液体存在不同的空化临界点，故超声波能量必须超过该临界点才能达到清洗效果。也就是说，只有能量超过临界点才能产生空化泡，以便进行超声清洗。  

[5]、频率的重要性  

当工作频率很低（在人的听觉范围内）就会产生噪音。当频率低於20kHz 时，工作噪音不仅变得很大，而且可能超出职业安全与保健法或其他条例所规定的安全噪音的限度。在需要高功率去除污垢而不用考虑工件表面损伤的应用中，通常选择从20kHz到30kHz范围内的较低清洗频率。该频率范围内的清洗频率常常被用于清洗大型、重型零件或高密度材料的工件。 高频通常被用于清洗较小、较精密的零件，或清除微小颗粒。高频还被用于被工件表面不允许损伤的应用。使用高频可从几个方面改善清洗性能。 随着频率的增加，空化泡的数量呈线形增加，从而产生更多更密集的冲击 波使其能进入到更小的缝隙中。如果功率保持不变，空化泡变小，其释放的能量相应减少，这样有效地减小了对工件表面的损伤。高频的另一个优势在于减小了粘滞边界层（泊努里效应），使得超声波能够’发现’极细小 的微粒。  

[6]、超声清洗的优越性  

高精度： 由于超声波的能量能够穿透细微的缝隙和小孔，故可以应用与任何零部件或装配件清洗。被清洗件为精密部件或装配件时，超声清洗往往 成为能满足其特殊技术要求的唯一的清洗方式； 快速： 超声清洗相对常 规清洗方法在工件除尘除垢方面要快得多。装配件无须拆卸即可清洗。超声清洗可节省劳动力的优点往往使其成为最经济的清洗方式； 一致：无论被清洗件是大是小，简单还是复杂，单件还是批量或在自动流水线上，使用超声清洗都可以获得手工清洗无可比拟的均一的清洁度。  

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[7]、超声清洗工艺及清洗液的选择超声场为清洗提供了巨大的能量，但还需化学洗剂作为介质。一般将化学 洗剂分为两类，一类是有机溶剂，主要是根据相似相溶的化学原理，对有 机物如：黏结剂（沥青、松香等）、保护性材料（沥青、树脂等）、磨边润滑油进行溶解。在光学洗净中，最初用三氯乙烯、芳香烃、氟里昂等作为 清洗剂，这类物质虽然溶解性强，但有的易挥发，毒性大，有的对大气臭 氧层有破坏作用，被逐步禁用。现国内多采用一些上述物质的改进产品或某些碳氢化合物做溶剂。目前使用较多的另一类清洗剂是以表面活性剂为 主要成分的水基清洗剂，其清洗原理简单地说是由于表面活性剂的分子结 构中同时含有亲油基的亲水基，具有极性和结构不对称的特点。正是这种特点使得它能极大降低水溶液的表面张力，使物体表面易于润湿，表面污物易于被溶解，分散在清洗液中而达到洗涤的目的。

在购买清洗系统之前，应对被清洗件做如下应用分析： 明确被洗件的材料 构成、结构和数量， 分析并明确要清除的污物，这些都是决定所要使用什么样的清洗方法，判断应用水性清洗液还是用溶剂的先决条件。最终的清 洗工艺还需做清洗实验来验证。只有这样，才能提供合适的清洗系统、设计合理的清洗工序以及清洗液。  

[8]、清洗液的选择  

考虑到清洗液的物理特性对超声清洗的影响，其中蒸汽压、表面张力、黏 度以及密度应为最显着的影响因素。温度能影响这些因素，所以它也会影响空化作用的效率。 任何清洗系统必须使用清洗液。  

选择清洗液时，应考虑以下三个因素：  

A．清洗效率：选择最有效的清洗溶剂时，一定要做实验。如在现有的清洗 工艺中引入超声，所使用的溶剂一般不必变更；

B．操作简单：所使用的液体应安全无毒、操作简单且使用寿命长；  

C．成本：最廉价的清洗溶剂的使用成本并不一定最低。使用中必须考虑到溶剂的清洗效率、安全性、一定量的溶剂可清洗多少工件利用率最高等因 素。当然，所选择的清洗溶剂必须达到清洗效果，并应与所清洗的工件材料相容。水为最普通的清洗液，故使用水基溶液的系统操作简便、使用成 本低、应用广泛。然而对某些材料以及污垢等并不适用于水性溶液，那么还有许多溶剂可供选用。

在一些光电行业中，比如触摸屏和平板显示器生产，产品表面的化学物质是有很严格的限制的，所以一般会用强碱NaOH溶液单独进行一次超声波清 洗,或在水溶性表面活性剂化学清洗剂溶液中加入强碱NaOH，以便让ITO膜表面的有机物质特别是油脂类污染物，被碱化学反应后溶解清除，或让它 这些污染物更具有极性，更容易被水溶性清洗剂中的表面活性剂捕获，被带走清洗掉。碱的另一个作用是，清洗机器管路中不断积附的水溶性表面 活性剂化学清洗剂中，表面活性剂所清洗下来的污染物凝胶类物质，这些

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