XQ15-GI 激光平面干涉仪
技术参数：
1、第一标准平面（A面），工作直径D1=φ146mm，平面的面形偏差小于0.03μm（λ/20）
2、第二标准平面（B面），工作直径D2=φ140mm，平面的面形偏差小于0.03μm（λ/20）
3、准直系统：工作直径φ146mm，孔径F/2.8，焦距f=400mm
4、测微目镜：焦距f=16.7mm；
5、视场角：2W=40?；放大倍数β=15X
6、成像物镜：D=7，F=16
7、光源规格：ZN18（He-Ne）
8、干涉室尺：φ480*380*285mm