德国XONOX VT1000DL立式干涉仪工作站
产品性能特点:
-用于全口径测量光学零件,可以测量直径150mm镜片
-独特的减震设计,全封闭测量空间,有效阻止空气扰动
-高精准,在半径精准测量条件下测量PV,半径测量精度1um。
-高效,气浮承载台,精确设定测量位置
-高安全性,全口径检测,不掉落样品
-高稳定性,气浮隔振,立柱+气浮台+干涉仪集成一体,测量不同规格样品,只需简单微调
-与子孔径抛光机配合使用,完美调整子孔径测量数据与抛光机坐标系合致
-低成本静态条纹分析软件,或高精密的相位条纹分析系统
-配置高性价比XONOX 4寸FIZEAU干涉仪,6x光学变焦,也可升级客户已有ZYGO干涉仪
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