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显微镜
观察、测量和处理系统化的显微镜阵容
FS-70 系列
378 系列 — 半导体检测用显微镜单元
• 带目镜观察的小巧显微镜单元。适于检测金属表面、半导体、液晶基板、树脂等。
• 多种显微镜镜体通常用作适用于专业器械的OEM(原厂委制) 产品, 如那些利用YAG(近红外、可见、近紫外或紫外) 激光*对半导体晶片进行检测和修补的设备。
* 不保证激光系统产品的性能和安全性。
• 应用:切割、修整、校正、 给半导体电路做标记/ 薄膜(绝缘膜) 清洁与加工、液晶彩色滤光器的修复 (校正错误)。还可用作光学观察剖面图以便探针分析半导体故障。
• 可用于红外光学系统*。
应用:晶体硅的内部观察;红外光谱特征分析。
* 需要红外光源和红外摄像机。
• 支持BF (亮视场)、DF (暗视场)、偏振光及微分干涉对比(DIC) 的型号(产品) 可用。
• 带有孔径光阑的柯勒照明是表面照明光学系统上的标准配件。
• 内倾转塔和超长工作距离的物镜确保了显微镜下的高可操作性。
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