机器视觉在半导体中的应用--晶圆检测

客户要求：

经过光刻的晶圆在检测后会发现大量的坏品，坏品通常是打上标志，如果是不完整的晶片也是属于坏品。

要求把良品检测出来，并把它的坐标位置与角度传送给运动机构，再由机械结构作出进一步的调整。CCD、镜头、光源由固定座固定不需要移动。

实现方式：

硬件：CCD采用台湾敏通高清晰度相机

图像采集卡采用创科视觉的PCI2100图像采集卡，随卡带有图象定位软件。

实现过程：

因为客户需要我们提供图像方面的DLL库，只需要图象采集、打开保存、图象捕捉、显示图象、在图象上显示用户设置的检测框与十字线、提供灰度直方图、二值化功能、对象计数、对象中心和角度的输出、检测坏点、检测是否完整等功能。应用效果：

目前该图象库已经得到了多家客户的使用与测试。功能已经得到了完整的改善，已经开始批量生产。

深圳市创科自动化控制技术有限公司

联系人：黎先生

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