EH机械增压泵以简单的罗茨真空泵原理为基础，仍是**受欢迎的泵，可用于压力范围为0.01至10 Pa，需要高抽速的应用场合。此泵必须始终由另一个提供相对于大气压的高压差的泵作为前级。机械增压泵在相对较低的压力下工作，不会暴露与前级泵相同浓度的腐蚀性制程介质下，因此高度可靠。先进的轴封技术，处理舱中不会出现油污染。经验证的轴封布置可确保没有油进入泵内，并且由于不需要可能腐蚀或黏着的内部和外部旁通管道及阀门，因此可将维护要求降到**低。

适用范围：广泛用于半导体制程、真空蒸馏、真空包装、钢脱气、薄膜覆层、真空冶金、低密度风洞、空间模拟、真空浸渍、油干燥和脱气、制药冷冻干燥、CO₂激光等高真空领域。

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