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产品介绍

   HiPace MC是配置了集成电子驱动装置的磁悬浮涡轮分子泵系列，该驱动装置可在最大性能水平下运行。该系列泵不仅有非常高的抽速，高压缩比以及高气流量，其中的磁悬浮轴承是也最高科技的体现，它保证了真空泵最低的震动和免维护运行。 

T该系列分子泵拥有IP 54保护级别，它可以防止环境中的灰尘和水雾的影响，所以此类泵坚固难用，非常适合应用于要求比较苛刻的工艺（颗粒状杂物，高压强气体，腐蚀性气体）。

产品特点

      1  磁悬浮轴承，是真正的无油分子泵

    2 超低振动，无噪音

    3 高抽速，最高达到3000L/S

    4 是全球最先进，最高端的分子泵

应用领域

           半导体产业          

       超紫外线光刻技术

       化学气相沉积（CVD）

       物理气相沉积（PVD）

       离子束刻蚀

       离子注入

       太阳能电池涂层工业

       冶金及电子束焊接

产品型号

1 HiPaceTM 2400 MC 

2 HiPaceTM 3400 MC  

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