主要用于纯水后端及无菌纯水系统上使用

 过滤分子量大于6000的物质。进水走外侧，产品水走内侧，其在使用过程中无离子和TOC溶出。UF的产水有五个指标：Particle、DO、Silica、TOC、Resistivity。它们的spec分别是：Particle<1N/ml(0.1)；DO<100ppb；Silica<1ppb；TOC<10ppb；Resistivity >18 MΩ·cm。UF的产水就直接供给用户点使用，供水实际上是一个循环的管路(loop)。最大的用户点是WET BENCH和CMP。

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