科研实验专用氧化铝靶材Al2O3磁控溅射靶材电子束镀膜蒸发料
产品介绍
氧化铝(Al2O3)在矿业、制陶业和材料科学上又被称为矾土,是一种高硬度的两性氧化物,能溶于无机酸和碱性溶液中,几乎不溶于水及非极性有机溶剂;白色固体,无臭、无味、质极硬,易吸潮而不潮解(灼烧过的不吸湿)。在高温下可电离的离子晶体,常用于制造耐火材料。用作分析试剂、有机溶剂的脱水、吸附剂、有机反应催化剂、研磨剂、抛光剂、冶炼铝的原料、耐火材料。氧化铝是典型的两性氧化物。
产品参数
中文名 氧化铝 化学式 Al2O3
分子量 101.96 熔点 2054ºC
沸点 2980ºC 密度 3.5-3.9g/cm3
支持靶材定制,请提供靶材产品的元素、比例(重量比或原子比)、规格,我们会尽快为您报价!!
服务项目:靶材成份比例、规格、纯度均可按需定制。科研单位货到付款,质量保证,售后无忧!
产品附件:发货时产品附带装箱单/质检单/产品为真空包装
适用仪器:多种型号磁控溅射、热蒸发、电子束蒸发设备
质量控制:严格控制生产工艺,采用辉光放电质谱法GDMS或ICP光谱法等多种检测手段,分析杂质元素含量保证材料的高纯度与细小晶粒度;可提供质检报告。
加工流程:熔炼→提纯→锻造→机加工→检测→包装出库
陶瓷化合物靶材本身质脆且导热性差,连续长时间溅射易发生靶裂情况,绑定背靶后,可提高化合物靶材的导热性能,提高靶材的使用寿命。我们强烈建议您,选购陶瓷化合物靶材一定要绑定铜背靶!
我公司采用高纯铟作为焊料,铟焊厚度约为0.2mm,高纯无氧铜作为背靶。
注意:高纯铟的熔点约为156℃,靶材工作温度超过熔点会导致铟熔化!绑定背靶不影响靶材的正常使用!
建议:陶瓷脆性靶材、烧结靶材,高功率下溅射易碎,建议溅射功率不超过3W/cm2。